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CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)

    CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源 設(shè)計(jì),清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?

    更新時(shí)間:2024-03-19 09:53:02
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆ ?遠(yuǎn)程離子清洗源

??清洗快速、高效

◆ ?低轟擊損傷

技術(shù)參數(shù)

?

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40(CF40)

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz 射頻電源,射頻功率 5-150W 可調(diào)

遠(yuǎn)程等離子源,自動(dòng)匹配器

氣體控制

標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面

電源 / 功率

AC220V,50/60Hz300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)狻錃獍l(fā)生器, ??氫氣純度﹥ 99.999%,輸出流量 0-500SCCM

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保,終身維護(hù)

產(chǎn)品尺寸

L320xW385xH465mm

包裝尺寸

L440xW535xH725mm

整機(jī)重量

25

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